產品中心
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公司簡介
Company Profile
湖南興晟新材料科技有限公司是一家專業(yè)從事高溫、高純、耐腐蝕材料與制品研發(fā)及生產的企業(yè)，依托多位行業(yè)專家的緊密合作，開發(fā)出了適合實際生產的涂層制備工藝與裝備，擁有CVD SiC涂層、TaC涂層及陶瓷基復合材料生產的核心技術。公司為LED、光伏、半導體、冶金、電子等行業(yè)的MOCVD裝備??、單晶硅爐、PECVD爐、單晶SiC爐、單晶CaN爐及第三代半導體外延爐、氧化爐、離子注入機、刻蝕機提供耐溫、耐腐、高純零部件/耗材，并為用戶產品質量優(yōu)化、設備改造提供高溫高純材料/零部件解決方案。
高性能CVD SiC、CVD TaC涂層系列產品
HIGH-PERFORMANCE CVD SIC、CVD TAC COATED SERIES PRODUCTS
lLED業(yè)：SiC涂層石墨托盤、Skirts
l光伏業(yè)：SiC涂層C/C復合材料導流筒、坩堝、蓋板、隔熱屏、PECVD舟架
l半導體：Si、SiC、GaN芯片外延基座/隔熱罩/過渡件/、氧化爐內村管/工藝爐管、 TaC涂層單晶 SiC制備用坩堝/工裝/隔熱屏、Solid Sic盤/管/載片器
l冶金業(yè)：SiC涂層C/C復合材料，陶瓷基復合材料坩堝、熱場、料盤、架/管/舟
SiC單晶生產TaC涂層坩堝
TaC涂層托盤
TaC涂層噴管
TaC涂層隔熱屏
Solid SiC 盤、環(huán)
Solid SiC 載片器
4寸多片石墨盤（CVD SiC涂層）
6寸單片石墨盤（CVD SiC涂層）
PECVD舟架（CVD SiC涂層）
SiC芯片外延成套石墨零部件（CVD SiC涂層）CVD SiC涂層石墨發(fā)熱體
SiC陶瓷刻蝕盤（CVD SiC涂層）
