湖南興晟新材料科技有限公司
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HUNAN XINGSHENG NOVEL MATERIALS TECHNOLOGY CO.,LTD
Solid SiC 盤、環(huán)
SiC涂層CC隔熱屏
6寸單片石墨盤（CVD SiC涂層）
SiC涂層CC隔熱屏
TaC涂層坩堝
4寸多片石墨盤
SKIRT
圓盤
圓環(huán)?
5、良好的化學穩(wěn)定性與耐腐蝕性????
能抵抗各種酸(HF除外)、堿、鹽及有機溶劑的腐蝕，不會產(chǎn)生化學反應
6、較長的使用壽命????
CVD SiC涂層產(chǎn)品的壽命是市場常見無涂層產(chǎn)品的2-3倍
7、外觀質(zhì)量????
外觀表面光潔平整，無裂痕，無疵點。
8、按需定制????
按用戶需求定制各種非標陶瓷符合材料及其SiC/TaCc涂層制品。
1、超高的純度
CVD SiC涂層的雜質(zhì)含量為ppm、ppb級
2、優(yōu)異的耐熱震性能????
熱膨脹系數(shù)小且可調(diào)節(jié)，能夠抵抗急冷急熱。
3、優(yōu)異的抗氧化、抗硅化性能
SiC涂層可有效隔離氧、硅與炭素熱場材料接觸，有效房子產(chǎn)品氧化、硅化。
4、優(yōu)異的耐磨損性能
表面SiC涂層硬度高，可顯著減少炭素熱場材料的磨損，產(chǎn)品壽命大幅度提高。
產(chǎn)品特點
SiC單晶生產(chǎn)TaC涂層坩堝
TaC涂層托盤
TaC涂層噴管
TaC涂層隔熱屏
Solid SiC 盤、環(huán)
Solid SiC 載片器
4寸多片石墨盤（CVD SiC涂層）
6寸單片石墨盤（CVD SiC涂層）
PECVD舟架（CVD SiC涂層）
SiC芯片外延成套石墨零部件（CVD SiC涂層）CVD SiC涂層石墨發(fā)熱體
SiC陶瓷刻蝕盤（CVD SiC涂層）
