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TaC涂層托盤
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TaC涂層噴管
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Solid Sic載片器
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6寸多片石墨盤(CVD Sic 涂層)
PECVD舟架(CVD Sic 涂層)
4寸多片石墨盤(CVD Sic 涂層)
Sic陶瓷刻蝕盤(CVD Sic 涂層)
CVD Sic 涂層石墨發(fā)熱體
SiC芯片外延成套石墨零部件(CVD Sic 涂層)
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